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OHT 空中走行式搬送系統

盟立自制的高空走行式無人搬運車（OHT）為高架搬送系統，主要搬運Foup至各制程設備間的Load/Unload Port，OHT夾取Foup于高空軌道輸送系統上行進，除可有效節省及利用空間外，另對比傳統人工搬送作業流程，更能大幅提高搬送效率，節省搬送時間。在不占用人員走道的前提下以及廠房高度約2.7米左右即可導入，將無塵室內的空間使用率最大化。藉由高空走行式無人搬運車可以直接存取Stocker load port上的貨物，不受運行路線上的機臺/人員等障礙物干涉。
 
OHT屬于懸吊式空中搬運系統，配合客戶需求將晶圓盒(FOUP)在不同的制程區間或是跨廠區棟別進行串連搬送。由于不須透過Stocker作為中轉站，全廠性的OHT運用可實現EQ to EQ的直接搬送，大幅縮短載具運輸時間與產品周期時間(Cycle time)。

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