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FOUP Stocker 晶圓傳送運輸系統

 
近年來盟立自動化公司積極投入半導體產業，整廠自動化系統，在業界已有多家客戶使用，創造優良正面評價與實績，其性能、可靠性、與安全性已于多個「半導體產業超高密度自動倉儲案」取得 SEMI S2 半導體設備安全認證。半導體廠房產線多數空間有限，為解決儲存空間不足問題，有效活化設備周圍可用空間。

半導體廠房產線多數空間有限，為解決儲存空間不足問題，有效活化設備周圍可用空間，盟立開發出高密度自動倉儲，充分利用空間可存放大量產品；實際應用案例：使用空間長度30公尺、寬度1.5公尺、高度5公尺，貨架可儲存約7000個Tray盤。高密度自動存取機，可對具晶圓盒系列FOUP / FOSB 、封裝測試系列Tray承載盤、玻璃基板卡匣等做搬運，能透過OHT、AGV、人工操作等設備進行上下料、暫存及晶圓傳送運輸。

要達到高密度的倉儲空間，設備整體高度加高，高速移動時相對晃動慣性量就會加大，為因應此問題盟立以自行研發STOCKER振動抑制控制抑制功能，降低振動對產品的損害。

功能特色：高密度儲存空間、節省廠房占地面積
盟立集團開發的FOUP STOCKER儲存裝置，以潔淨室搬送系統進行產品入出庫管理，可令廠房倉儲空間更充分的應用，輔以自動化系統控管入出庫，更能減賞人員勿操作的發生率，進一步實現自動化的願景。
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