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產品信息
2016.05.24
晶圓盒機器人智能傳送系統
在(zai)(zai)半導體廠內，晶(jing)圓多是置于(yu)晶(jing)圓盒內，在(zai)(zai)各(ge)(ge)廠區及各(ge)(ge)制(zhi)(zhi)程設備間傳送。以人(ren)力傳送方式多存在(zai)(zai)不可控制(zhi)(zhi)的(de)風(feng)險，因此搭配穩(wen)定成熟(shu)的(de)機器手臂傳送系統取代(dai)傳統的(de)人(ren)工傳送方式已成趨勢。
盟(meng)立(li)自動化(hua)累積逾多年的機器手臂應(ying)用及系(xi)(xi)統(tong)整合經驗，能依照廠地空間、作業模式(shi)、系(xi)(xi)統(tong)功能、產能速度等需(xu)求(qiu)條(tiao)件，為(wei)客戶建(jian)置符(fu)合安全、潔凈、精準、高(gao)效率且具備智能化(hua)的傳送系(xi)(xi)統(tong)。
以下為實績范例特點介紹 :
- 跨樓層傳送整合，客制化設計，包含Lifter、ROBOT的制程鏈接整合傳送系統。
- 上下樓層各設置ROBOT，搭載盟立設計的專用夾持機構，能非常穩定的進行晶圓盒的取放作業。
- 具傳送過程確保潔凈度之對策。
- 系統判讀Bar code確保正確地傳送。
- 遠程監視功能可實時掌握設備異常狀態，縮短排除異常的時間。
- 自動/手動運轉及自動/人工投料等多重模式可供選擇切換。
- 全方位安全裝置，確保人員、對象、設備安全。