盟立為六代LTPS制程開發OHS車輛搬運系統(Over Head System),以驗證Class 10 0.1um潔凈度需求設置。
OHS 為Stocker外圍整合的重要角色,主要負責每一座Stocker制程與成品的運送與管理,其運送物為玻璃卡匣(Cassette),在Stocker之間運送全由高架組成,節省AMHS 占用空間、降低AMHS 建置成本、提高搬運可靠度及縮短產品產出時間,實現Class 10 0.1um潔凈度控制。
本設備主要(yao)配置為(wei)OHS 車(che)體、轉向機(ji)構及(ji)軌道系(xi)統,OHS車(che)輛搬運(yun)系(xi)統主要(yao)為(wei)車(che)體結構及(ji)2組(zu)可回轉的轉向車(che)架(jia),在(zai)(zai)分歧(qi)(qi)處以(yi)(yi)轉向機(ji)構夾持(chi)軌道,以(yi)(yi)達(da)成分歧(qi)(qi)過彎的功能,并且(qie)能避免(mian)產生灰塵,以(yi)(yi)達(da)到潔(jie)凈(jing)度的要(yao)求。該轉向機(ji)構可決定車(che)輛直行(xing)或在(zai)(zai)分歧(qi)(qi)處轉彎,使長(chang)程(cheng)運(yun)送的過程(cheng)中,車(che)輛可以(yi)(yi)選擇(ze)分岐處作為(wei)折返(fan)的功能,大幅縮減(jian)車(che)輛循環運(yun)行(xing)所需的時間,并提(ti)高稼動(dong)率(lv)。